北方华创立式炉出货突破1000台

庆祝现场

近期，北方华创第1000台立式炉正式出厂。这一成就不仅标志着公司立式炉产品取得飞跃性进展，更体现了中国集成电路设备制造实力的显著提升。

据介绍，立式炉作为集成电路制造的关键设备，主要用于前道氧化、扩散和退火等热处理工艺，直接影响了半导体器件的性能。同时，立式炉可批量处理晶圆，提高生产效率，在当前集成电路生产中占据越来越重要的位置。据SEMI数据显示，2024年立式炉全球市场规模已达32亿美元。

据了解，北方华创自2010年将首台立式炉交付客户后，十余年内，立式炉通过客户端严格验证，实现大规模量产，广泛覆盖逻辑、存储、功率、先进封装及大硅片生产等关键领域。2020年，北方华创第100台立式炉交付，2023年6月，第500台立式炉交付，仅1年零6个月后，第1000台立式炉正式交付。千台立式炉的成功出厂，不仅体现了“华创速度”，更是北方华创技术革新与品质坚守的有力见证，是中国半导体设备制造业迈向世界前列的坚实一步。

北方华创立式炉得益于公司在技术层面的不断创新和突破。立式炉设备以高精度的温度控制能力，良好的成膜均匀性，以及先进的金属及颗粒污染控制技术，大幅提升了芯片良品率。近年来，北方华创开发了一系列立式炉新技术，进一步巩固自身在行业中的技术领先地位。展望未来，北方华创将秉持锐意进取的精神，在集成电路设备的新征程中领航破浪，以卓越品质致敬未来。